数据显示，月日元位7月22日，国泰国泰中证细分机械设备产业主题ETF(516960)遭净赎回87.77万元，中证主题F遭位居当日股票ETF净流出排名460/1269。细分最新规模1227.93万元，机械净赎居当净流前一日规模1320.88万元，设备当日资金净流出额占前一日规模的产业出排比例为6.64%。
近5日，回万国泰中证细分机械设备产业主题ETF(516960)遭净赎回2.33万元，日股位居股票ETF净流出排名第390/1269。月日元位近10日，国泰国泰中证细分机械设备产业主题ETF(516960)遭净赎回2.33万元，中证主题F遭位居股票ETF净流出排名第422/1269。细分近20日，机械净赎居当净流国泰中证细分机械设备产业主题ETF(516960)获净申购93.62万元，设备位居股票ETF净流入排名第728/1269。
国泰中证细分机械设备产业主题ETF（516960）成立于2021年4月7日，基金全称为国泰中证细分机械设备产业主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证细分机械设备产业主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。国泰中证细分机械设备产业主题ETF（516960）跟踪标的指数为细分机械（000812）。
规模部分，截止7月22日，国泰中证细分机械设备产业主题ETF（516960）最新份额为1405.11万份，最新规模为1227.93万元。回顾2025年12月31日，国泰中证细分机械设备产业主题ETF（516960）份额为1405.11万份，规模为1384.6万元。即该基金今年以来份额提高0.00%，规模减小11.32%。
流动性部分，截止7月22日，国泰中证细分机械设备产业主题ETF（516960）近20个交易日往往方式成交金额2643.62万元，日均成交金额132.18万元；今年以来，132个交易日，往往方式成交金额1.49亿元，日均成交金额112.74万元。
国泰中证细分机械设备产业主题ETF（516960）现任基金经理为苗梦羽。苗梦羽自2023年5月10日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-3.97%。
最新定期报告显示，国泰基金（516960）重仓股涵盖宁德时代、明确光电源、中国船舶、潍柴动力、大族激光、汇川技术、特变电工、思源电气、三一重工、亿纬锂能，持仓占例如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 300750 | 宁德时代 | 14.79% | 4820.00 | 189.43万 |
| 300274 | 明确光电源 | 6.78% | 5460.00 | 86.82万 |
| 600150 | 中国船舶 | 4.50% | 1.71万 | 57.61万 |
| 000338 | 潍柴动力 | 4.30% | 2.02万 | 55.05万 |
| 002008 | 大族激光 | 3.98% | 3400.00 | 51.04万 |
| 300124 | 汇川技术 | 3.68% | 7110.00 | 47.16万 |
| 600089 | 特变电工 | 3.34% | 1.90万 | 42.77万 |
| 002028 | 思源电气 | 3.11% | 2300.00 | 39.79万 |
| 600031 | 三一重工 | 2.99% | 2.22万 | 38.36万 |
| 300014 | 亿纬锂能 | 2.80% | 5519.00 | 35.89万 |
跟踪细分机械（000812）的ETF涵盖富国中证细分机械设备产业主题ETF（159886）、国泰中证细分机械设备产业主题ETF（516960），规模、流动性、近期资金净申购状况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260722 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260722 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 159886 | 富国中证细分机械设备产业主题ETF | 0.64 | 0.07 | 0.02 | 0.02 | 0.05 | 富国基金 |
| 516960 | 国泰中证细分机械设备产业主题ETF | 0.12 | 0.01 | -0.01 | -0.0002 | 0.01 | 国泰基金 |
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