数据显示，鹏华7月23日，科创鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购8191.03万元，板半位居当日股票ETF净流入排名61/1270。导体得资最新规模44.79亿元，材料前一日规模45.97亿元，设备申购当日资金净流入额占前一日规模的主题比例为1.78%。

近5日，已亿元鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购11.16亿元，后续位居股票ETF净流入排名第22/1270。日获入额近10日，金净净流鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购21.79亿元，区间位居股票ETF净流入排名第25/1270。鹏华近20日，科创鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购36.69亿元，板半位居股票ETF净流入排名第23/1270。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)已后续4日资金获净申购，区间净流入额12.05亿元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模部分，截止7月23日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为18.86亿份，最新规模为44.79亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额提高672.35%，规模提高1408.61%。

流动性部分，截止7月23日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日往往方式成交金额240.97亿元，日均成交金额12.05亿元；今年以来，133个交易日，往往方式成交金额392.12亿元，日均成交金额2.95亿元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益137.44%。

最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股涵盖华海清科、中微公司、中科高效测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，持仓占例如下：

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF涵盖华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购状况如下：

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